Detailgetreue Anlagenvisualisierung auf Basis der CAD-Daten
Modernste Prozesssteuerung mit einer gelungenen Kombination aus bewährten Statussymbolanzeigen und anlagenspezifischen, detailgetreuen CAD-Daten.
StepController
Der StepController wurde in seinem Funktionsumfang erweitert.
Grafische Prozessdatenanzeige
Es besteht die Möglichkeit die grafische Prozessdatenanzeige mit einzublenden. Somit sind alle relevanten Prozessparameter in einer Ansicht übersichtlich einsehbar.
Bearbeitung des Schrittablauf sowie der allgemeinen Schrittparameter
Bei unterbrochenem Prozess können bei Bedarf einzelne Schritte des Schrittablauf aktiviert/deaktiviert werden sowie deren allgemeine Schrittparameter bearbeitet werden. Hierdurch wird eine neue Flexibilität bei der Prozessbearbeitung, speziell im Störungsfall, erreicht. Der Prozess kann danach an der gewünschten Stelle fortgesetzt werden.
Istwertanzeige im Schrittablauf
Die tabellarische Anzeige des Schrittablaufs zeigt die im jeweiligen Schritt aufgedampfte Schichtdicke. Im Störungsfall stehen damit detaillierte Informationen über den aktuellen Prozessstatus zur Verfügung. Der Prozess kann somit jederzeit definiert fortgesetzt werden.
Grafische Prozessdatenanzeige
Die grafische Prozessdatenanzeige untergliedert sich in 3 identisch strukturierte Kurvenschreiber
| Prozess | Kurvenschreiber des aktuell laufenden Prozess |
| Prozess-Viewer | Kurvenschreiber der bereits abgearbeiteten (historischen) Prozesse |
| Umlauf-Archiv | Kurvenschreiber mit fortlaufenden Prozessdaten |
Prozess-Viewer
Der Prozess-Viewer stellt standardmäßig den zuletzt bearbeiteten Prozess übersichtlich in seiner gesamten Dauer grafisch dar.
Weitere Prozesse können durch blättern oder Auswahl aus der Prozessliste aufgerufen werden.
Allgemeine Funktionen der Kurvenschreiber
Zoom
Die Zeitachse kann in vordefinierten Schritten kleiner/größer gezoomt sowie auf den kompletten Prozesszeitraum gesetzt werden. Ein aktivierter manueller Zoom kann jederzeit rückgesetzt werden.
Zeitbereich
Der darzustellende Zeitbereich kann durch Anwahl eines Zeitsegment beliebig verschoben werden.
Zeit-Auswahl Dialog
Darüber hinaus bietet der Zeit-Auswahl Dialog den vollen Funktionsumfang zur individuellen Auswahl eines exakten Zeitbereiches.
Erweiterte Legende
In der Legende werden die aktuellen Prozessdaten bzw. bei aktivierter Lineal-Funktion die Prozessdaten des angewählten Zeitpunktes ausgegeben.
Formatierung der Prozesswertachsen
Die Formatierungen der Prozesswertachsen können im Achsen-Parameter Dialog übersichtlich bearbeitet werden.
Protokolle
Es stehen 2 Varianten des automatisch generierten Prozessprotokolls zur Verfügung:
| Kurz-Protokoll | Eingeschränkte Version mit den wichtigsten Protokoll-Einträgen |
| Protokoll | Detaillierte Version mit allen Protokoll-Einträgen |
Die Protokolle können nun auch durchsucht werden.
Notizen
Die Notizen stellen ein zentrales Element zur Ergänzung der Prozess-Dokumentation innerhalb der marView-Applikation dar.
Die Inhalte können hierbei durch unterschiedliche Ereignisse generiert bzw. editiert werden:
Datenbank
Funktionserweiterungen
Die Datenbank wurde um zahlreiche Funktionen erweitert. So bspw.
Heizungen individuell aktivieren
Variable Ablenkung
flexible Ansteuerung der Ablenkung der Elektronenstrahlverdampfer während dem Einschmelzen / beim Beschichten.
Integration Plasma-Quelle
Filter
Die Datensätze aller Schrittparametertypen können beliebig gefiltert werden.
