Die wichtigsten Features unserer Horizontalanlagen im Überblick:
Wie bei unseren anderen Anlagen auch: Kundenspezifische Auslegung (Größe, Pumpleitung, etc.), Anpassung und Ausstattung der Anlage, wenn gewünscht mit Prozess(en)
Vollautomatischer Bedampfungsprozess mit komfortabler Anlagenbedienung und Steuerung mittels Visualisierung am PC: Eingabe/ Verwaltung sämtlicher Parameter, Rezepte, etc. mit Protokollierung aller wichtiger Daten des Betriebs
Integrierte Plasmaerzeugung zur Oberflächen- und HMDSO-Aktivierung (beides optional)
Integrierter Gaseinlass (O2) für reaktive Prozesse und zur Plasmaerzeugung sowie weitere Gaseinlässe (optional)
2 (oder mehrere) verbaute Verdampferbänke in der Anlage zur Erzeugung dicker Schichten oder zum Aufdampfen verschiedener Materialien
Substrataufnahme und Verdampferbank separat wechsel- und bestückbar, dabei komplette Einheit ausziehbarer zum einfachen und sicheren Be- und Entladen an der Frontseite
Bei Verwendung einer zweiten Thermischen Verdampfereinheit ergibt sich die Möglichkeit diese zu chargieren während die andere Verdampfereinheit im Prozess ist, dito Substrataufnahme
Verdampfung über "Schiffchen“ bzw. "Evaporation Boats" oder Wendeln
Verwendung von zuverlässigen, industrietauglichen Komponenten, Rezipient und Zuleitungen aus Edelstahl
