Unsere Horizontal-Beschichtungsanlagen

Die wichtigsten Features unserer Horizontalanlagen im Überblick:

  • Wie bei unseren anderen Anlagen auch: Kundenspezifische Auslegung (Größe, Pumpleitung, etc.), Anpassung und Ausstattung der Anlage, wenn gewünscht mit Prozess(en)
  • Vollautomatischer Bedampfungsprozess mit komfortabler Anlagenbedienung und Steuerung mittels Visualisierung am PC: Eingabe/ Verwaltung sämtlicher Parameter, Rezepte, etc. mit Protokollierung aller wichtiger Daten des Betriebs
  • Integrierte Plasmaerzeugung zur Oberflächen- und HMDSO-Aktivierung (beides optional)
  • Integrierter Gaseinlass (O2) für reaktive Prozesse und zur Plasmaerzeugung sowie weitere Gaseinlässe (optional)
  • 2 (oder mehrere) verbaute Verdampferbänke in der Anlage zur Erzeugung dicker Schichten oder zum Aufdampfen verschiedener Materialien
  • Substrataufnahme und Verdampferbank separat wechsel- und bestückbar, dabei komplette Einheit ausziehbarer zum einfachen und sicheren Be- und Entladen an der Frontseite
  • Bei Verwendung einer zweiten Thermischen Verdampfereinheit ergibt sich die Möglichkeit diese zu chargieren während die andere Verdampfereinheit im Prozess ist, dito Substrataufnahme
  • Verdampfung über "Schiffchen“ bzw. "Evaporation Boats" oder Wendeln
  • Verwendung von zuverlässigen, industrietauglichen Komponenten, Rezipient und Zuleitungen aus Edelstahl